Spatial light modulator for maskless optical projection lithography
- G. P. Watson
- , V. Aksyuk
- , M. E. Simon
- , D. M. Tennant
- , R. A. Cirelli
- , W. M. Mansfield
- , F. Pardo
- , D. O. Lopez
- , C. A. Bolle
- , A. R. Papazian
- , N. Basavanhally
- , J. Lee
- , R. Fullowan
- , F. Klemens
- , J. Miner
- , A. Kornblit
- , T. Sorsch
- , L. Fetter
- , M. Peabody
- , J. E. Bower
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
27
Link opens in a new tab
Scopus
citations